★ 电子枪的性能指标:
加速电压: -4kV ~ -10kV
最大束流:1.6A(此时的加速电压是 -16kV)
最大加速功率:16kW
电子束偏转角:270° (电磁铁)
电子束位置调节范围: ±75mm
电子束扫描范围: 70mm×70mm
电子束扫描频率: X=50Hz 、Y=500Hz
工作真空度:在7×10-2Pa~5×10-5Pa
冷却水:5~19L/Min 不含坩埚冷却水(水温在15℃~25℃,压差不低于0.25MPa,但最大容许压力不高于0.55MPa)
体积:长136× 宽220× 高90
重量:约15Kg
使用电源:JEBP-16F
★ 外形尺寸及建议开孔图:(单位:mm)