★ 电子枪的性能指标：
加速电压： -4kV ~ -10kV
最大束流：1A(此时的加速电压是 -10kV）
最大加速功率：10kW
电子束偏转角：270° （永久磁铁）
电子束位置调节范围： ±20mm
电子束扫描范围： 40mm×40mm
电子束扫描频率： X=50Hz 、Y=500Hz
工作真空度：在7×10-2Pa~5×10-5Pa
冷却水：5~8L/Min 不含坩埚冷却水（水温在15℃~25℃，压差不低于0.15MPa，但最大容许压力不高于0.3MPa）
体积：长148× 宽163× 高173
重量：约10Kg
使用电源：SEBP-10F
★ 外形尺寸及建议开孔图：(单位：mm)
