★ 电子枪的性能指标:
加速电压: -4kV ~ -10kV
最大束流:1.6A(此时的加速电压是 -10kV)
最大加速功率:16kW
电子束偏转角:270° (永久磁铁)
电子束位置调节范围: ±25mm
电子束扫描范围: 50mm×50mm
电子束扫描频率: X=50Hz 、Y=500Hz
工作真空度:在7×10-2Pa~5×10-5Pa
冷却水:5~12L/Min 不含坩埚冷却水(水温在15℃~25℃,压差不低于0.25MPa,但最大容许压力不高于0.55MPa)
体积:长197× 宽329× 高187
重量:约26Kg
使用电源:JEBP-16F
★ 外形尺寸及建议开孔图:(单位:mm)